五氟化钽为易挥发的、具有吸潮性的、白色的单斜晶系结晶。相对密度5.1，晶格常数a=0.964 nm，b=0.512 nm，c=96.30。熔点95.1℃，沸点229.2℃。蒸发热54.4 kJ/mol，融熔热18.8 kJ/mol，当温度在80～230℃范围内其蒸气压随温度变化的关系为lgp=27.649—2834/T(p为kPa)。易溶于水、乙醚，微溶于热的二硫化碳和四氯化碳及冷的浓硫酸中。在氢氧化钠溶液中即发生激烈反应。五氟化钽即使在沸腾状态下也不与溴、碘、氮等发生反应。

直接法以钽粉和氟为原料制备五氟化钽：以蒙乃尔合金或镍制的L型管作反应管，首先从管的一端抽真空，以除去管内的空气和水分，然后在该端加入金属钽粉，再将此端放入电炉中，将另一端放人半融化的干冰中，控制电炉使温度升至300℃，这时向反应管中通入氟气，经反应后即在干冰处生成凝固的固体五氟化钽粉末。反应产物经真空蒸馏，在-10℃收集得99％五氟化钽。在高真空的条件下，于90～100℃温度下升华，即得精制五氟化钽。产品必须贮存于干燥的硼硅酸玻璃的容器中并密封。合成法以五氯化钽和无水氢氟酸为原料制备五氟化钽：在室温下，五氯化钽和无水氢氟酸反应，反应后经冷凝、过滤分离即得固体五氟化钽，然后在真空下升华，即制得精制五氟化钽。

提示语	危险危险有害信息	H227H290:可能腐蚀金属H314:造成严重皮肤灼伤和眼损伤注意	P210:远离明火/热表面。P234:只能在原容器中存放。P260:不要吸入。P264:作业后彻底清洗双手。P280:戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。P301+P330+P331:如误吞咽：漱口。不要诱导呕吐。P303+P361+P353:如皮肤（或头发）沾染：立即去除/脱掉所有沾染的衣物。用水清洗皮肤/淋浴。P304+P340:如误吸入：将受害人转移到空气新鲜处，保持呼吸舒适的休息姿势。P305+P351+P338:如进入眼睛：用水小心冲洗几分钟。如戴隐形眼镜并可方便地取出，取出隐形眼镜。继续冲洗。P310:立即呼叫解毒中心/医生。P363:沾染的衣物清洗后方可重新使用。P390:吸收溢出物，防止材料损坏。P403+P235:存放在通风良好的地方。保持低温。P405:存放处须加锁。P501:通过当地政府授权的废弃管理部门废弃内容物/容器

用于钽的化学气相沉积和离子注入掺杂，还用于有机化合物合成催化剂。